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双轴激光扫描系统的基本原理(2)

发布时间:2019/05/17 点击量:
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  考虑到镜片的误差,振镜的宽W1要略微大于所选择的DF的值。镜片上的最大入射角imax决定了振镜的长度。让a= (90°-imax)。当振镜的长度是L1,这里L1=W1/sina.
  振镜2(或者叫振镜y)
  振镜2的宽度应该等于振镜1的长度。振镜2的长度就是光束打在第二个振镜上时同S1的距离,和最大入射角q。这些镜片被制作并被镀上的特定的膜层,从而决定用于CO2激光还是YAG激光。他们有很高的激光损伤值, 1000w/mm的情况下光束直径是1/e2(D).
  我们将镜头描述为F-theta镜头,或者‘Fq’。设计的方法是要产生一个离轴点的位置成正比的扫描角度。依次,就是要产生成正比的电压,已适用于扫描器马达。由于失真是来自于两个振镜,所以我们两个轴上的扫描器要有能够转动F-theta的特征。
   单片式镜片设计得最好的折衷点是要同时具备最小光斑尺寸与F-θ特点。对于单片式的镜头,在F-theta特征下,误差通常是2%-3%。多片式的镜 头,它的设计会更加接近F-theta的特点。F-theta特征的误差范围是<0.36%,并且只有75mmFL的微小差距。
  所有扫描透镜设计是基于上述因素,对于典型的小型扫描器系统,光束直径的范围在10mm或是15mm,镜片的直径为48mm是比较合适的。对于光束直径是15mm,这时镜片的直径要通过S1和M2L的距离作为参数。
  每次设计镜头旨在提供打标范围,最小最均匀的焦斑和在指定的光束直径和振镜位置下要具备F-theta特征。尽可能避免镜片口径和金属圆孔带来的衍射。